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點(diǎn)擊 6568回答 0 2011-05-16 21:40

請(qǐng)教各位大俠﹐硅棒內(nèi)部的應(yīng)力有辦法測(cè)試嗎﹖

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     最近拉制的硅棒﹐切片后出現(xiàn)了應(yīng)力片﹐我們已經(jīng)回切了﹐按理說(shuō)應(yīng)該不是晶棒的問(wèn)題了﹐但切片廠商硬說(shuō)還是棒子的問(wèn)題﹐所以不知道有什么辦法可以測(cè)試硅棒內(nèi)部的應(yīng)力﹐如果有﹐用什么儀器測(cè)試﹖
謝謝﹗
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