偶是新人,被分配到了,去PSG工藝.但是由于沒啥經(jīng)驗(yàn),以下幾個(gè)問題請功高手們告知一下.
PSG去除的HF濃度大家都用多少啊?
大家用的HF濃度刻蝕速率一般都是多少呢?
需要多長時(shí)間?
刻蝕的溫度應(yīng)該保持多少呢?