近日，繼引領高效和超高效HJT的TCO設備——新型自主RPD系列之后，捷佳偉創(chuàng)人歷時一年精心打磨的具有完全自主知識產權的又一重磅異質結關鍵工藝設備板式PECVD5500迎來了整備交付客戶的日子，給生機蓬勃的光伏行業(yè)又增添了一抹靚麗的色彩。捷佳偉創(chuàng)經略在高效和超高效HJT的基礎棋局里，落下了最后一顆棋子，從而具備了完全自主的高效和超高效HJT的整線交付能力。
這款PECVD5500是捷佳偉創(chuàng)人自主研發(fā)設計的針對HJT電池工藝生產設備的基礎型號。由經驗豐富的美國博士團隊與本土高級工程師團隊通力協作擔當設計，汲取當前國際主流設備的特點，結合量產需求自主研發(fā)而成；作為捷佳偉創(chuàng)的新一代板式PECVD產品，其獨特的氣流場、電磁場以及溫度場設計實現大面積薄膜沉積的均勻性和穩(wěn)定性、良好的鈍化效果和優(yōu)異的薄膜性能。

PECVD5500主設備的腔體結構緊湊，載片板采用M6硅片10×10布局；節(jié)拍完全滿足當前高效率的工藝要求，鍍膜高度調整帶來的寬泛的工藝窗口為客戶提供更靈活的實現高效率電池的工藝路徑；上下料系統(tǒng)完全消除當下HJT電池敏感難題，整體PECVD系統(tǒng)具備極高的性價比；基礎型號通過減配腔體和增配串聯腔體，可以實現3000-11000的產能選擇。

根據我們廠內測試的數據顯示，設備基本性能和模擬工藝結果全面優(yōu)于設計目標。搭配捷佳創(chuàng)特殊絨面結構，鍍膜均勻性達到5%以內，膜質優(yōu)良，明顯優(yōu)于行業(yè)水平。同時經過調整組合方式可以實現IINP新工藝要求?；诨A型號的優(yōu)異狀態(tài)，捷佳偉創(chuàng)的下一代大產能同步進入設計，將實現產能基本翻番，亦將持續(xù)為客戶創(chuàng)造不凡價值。

至此，捷佳偉創(chuàng)公司不負眾望率先打通高效HJT從工藝設備到AGV智慧工廠的全制程設備的自主開發(fā)工作，成為全球第一家完成全線四道工序完全自主開發(fā)的整體異質結電池解決方案設備提供商。這款優(yōu)秀的PECVD設備將和TCO工序先進的RPD系列設備組成“雙子星”設備，和我們傳統(tǒng)優(yōu)勢設備制絨、印刷設備一起，把異質結電池量產轉換效率推上25%的行業(yè)新高度，突破從常規(guī)HJT向高效和超高效HJT的蛻變。