浙江中科院應用技術研究院嘉興微電子設備與儀器工程中心夏洋帶領的微電子儀器與設備創(chuàng)新團隊，在晶硅太陽能電池表面鈍化技術的研究中取得新進展。該創(chuàng)新團隊利用自主設計生產(chǎn)的KMT-200A型原子層沉積設備，在p型單晶硅片上生長氧化鋁鈍化層，退火后平均少子壽命可達1ms，有效減少了硅片表面復合，具有優(yōu)秀的表面鈍化效果。

目前，微電子儀器與設備創(chuàng)新團隊以技術優(yōu)勢，吸引美國硅谷研究團隊來嘉興開展原子層技術合作，強強聯(lián)合，加快了國內(nèi)開發(fā)原子層沉積設備的研制和在嘉興市的產(chǎn)業(yè)化，推出了一系列的擁有自主知識產(chǎn)權和創(chuàng)新的原子層沉積設備產(chǎn)品，包括熱型設備、等離子體增強型設備和適于光伏產(chǎn)業(yè)應用的批量型設備，實現(xiàn)了國產(chǎn)原子層沉積設備在光伏產(chǎn)業(yè)首創(chuàng)應用的新局面，為下一代高效晶硅太陽能電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了國產(chǎn)化設備支撐。

原子層沉積技術是一種有序的氣相薄膜生長技術，具有良好的保形性、均勻性和高的臺階覆蓋率，通過原子層沉積氧化鋁薄膜對硅片表面進行鈍化，可以大幅度提高太陽能電池效率，被業(yè)界普遍認為是未來新一代晶硅太陽能電池技術發(fā)展的重要趨勢。