今年4月份，派瑞公司和山東某三氯氫硅廠簽約的三氯氫硅尾氣凈化設備正常投入使用，連續(xù)開車72小時，設備工作狀況良好，達到了預期的設計目的和合同要求，甲方非常滿意，順利辦理了交接驗收手續(xù)。

經(jīng)過調(diào)研，目前國內(nèi)的廠家在三氯氫硅合成過程中，均存在大量合成后的尾氣，該尾氣的主要成份為氫氣，組成比例大約為H2（80%），HCL（15%），SiHCl3（2%），SiCl4（0.5%），這些組份均是寶貴的生產(chǎn)原料，如直接淋洗后排空，既污染環(huán)境又浪費資源，因此需要進行分離提純。我公司采用變壓吸附原理對三氯氫硅合成工段排放的尾氣進行分離提純，產(chǎn)品氣1為氫氣，純度可達到99.999%（可以再次進入HCL合成爐進行HCL合成或者其他用途），產(chǎn)品氣2為解析氣可以返回冷凝精餾工段回收SiHCl3和SiCl4。

派瑞公司于2008年開始對該行業(yè)進行調(diào)研、試驗，經(jīng)過技術人員歷時2年的刻苦公關，終于成功投入生產(chǎn)。該設備的成功投運為三氯氫硅行業(yè)的尾氣處理提供了可供同行業(yè)借鑒的解決方案，為企業(yè)節(jié)約了運行成本，也避免了環(huán)境污染。同時，該技術也可應用于多晶硅行業(yè)，多晶硅還原過程中產(chǎn)生的尾氣成份與此相似，比例卻低的多，更加容易處理。