昨日，一塊塊散發(fā)金屬光澤的深灰色電子級多晶硅，在洛陽中硅高科技有限公司多晶硅制備車間新鮮出爐，它們的目的地，是麥斯克電子材料股份有限公司等下游集成電路企業(yè)。

“龍門實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合企業(yè)推進(jìn)的重大項(xiàng)目‘先進(jìn)硅基光電功能材料’前不久已中試成功，標(biāo)志著實(shí)驗(yàn)路線正式得到工藝驗(yàn)證。”在龍門實(shí)驗(yàn)室，智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任潘昆明難掩心中激動(dòng)。

中硅高科，誕生中國第一條規(guī)模化生產(chǎn)多晶硅生產(chǎn)線的地方，如今在與龍門實(shí)驗(yàn)室的“共舞”中，找到了創(chuàng)新突圍新的方向——電子級多晶硅。

電子級多晶硅是制造半導(dǎo)體芯片的原材料，被稱為電子信息產(chǎn)業(yè)的“糧食”。以電子級多晶硅為原材料制造的硅片，經(jīng)過后期的打磨、拋光、蝕刻、光刻、封裝等環(huán)節(jié)，變身一顆顆高附加值的芯片，嵌入到手機(jī)、電腦、汽車等終端產(chǎn)品中。

潘昆明介紹，相比起光伏級多晶硅99.9999999%，也就是9N的純度，電子級多晶硅的純度要求高達(dá)11N，是前者的100倍。“打個(gè)比喻，就好像在國際標(biāo)準(zhǔn)泳池里最多摻一滴墨水，再多純度就不合格了。”潘昆明說。

復(fù)雜技術(shù)壁壘下，世界電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美、日、德三國。我國半導(dǎo)體硅片制造用的電子級多晶硅95%以上依賴進(jìn)口。突破電子級多晶硅生產(chǎn)技術(shù)，對于保障我國集成電路產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略安全意義重大。

去年以來，龍門實(shí)驗(yàn)室牽頭聯(lián)合中硅高科和麥斯克公司，打通電子級多晶硅制備和應(yīng)用等多個(gè)環(huán)節(jié)，逐步突破超低金屬雜質(zhì)控制等核心關(guān)鍵技術(shù)。

在項(xiàng)目推進(jìn)過程中，龍門實(shí)驗(yàn)室充分發(fā)揮自身基礎(chǔ)研究優(yōu)勢，為研發(fā)提供化學(xué)、分子動(dòng)力學(xué)等方面的分析和模擬?！拔覀兺ㄟ^理論推導(dǎo)和計(jì)算模擬，使得數(shù)以百計(jì)的工藝組合效果在電腦上精確推導(dǎo)，大大減少企業(yè)在生產(chǎn)線上試錯(cuò)的成本，提高了研發(fā)的質(zhì)效?！迸死ッ髡f。

自去年3月揭牌以來，龍門實(shí)驗(yàn)室既向上緊盯國家戰(zhàn)略需求，聚焦河南“十大戰(zhàn)略”，又向下扎根本地市場，充分發(fā)揮洛陽十大產(chǎn)業(yè)集群優(yōu)勢，凝練了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等6個(gè)重大項(xiàng)目，涵蓋農(nóng)機(jī)裝備、光電元器件、電子化工材料等領(lǐng)域。這些項(xiàng)目技術(shù)需求均來自中信重工、中國一拖等洛陽重點(diǎn)企業(yè)，科研成果直接服務(wù)于企業(yè)發(fā)展，實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈的“無縫對接”。

“未來，我們將持續(xù)推進(jìn)6個(gè)重大項(xiàng)目，力爭年底前取得一批標(biāo)志性科研成果，助力洛陽‘風(fēng)口’產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及國家高水平科技自立自強(qiáng)?！敝袊こ淘涸菏?、龍門實(shí)驗(yàn)室主任樊會(huì)濤語氣堅(jiān)定地說。